Ozonbasierte Reinigungs- und Konditionierungsverfahren für die Herstellung hocheffizienter Silizium Solarzellen.
Anamaria Moldovan
Mit einem stetig zunehmenden Anteil hocheffizienter Solarzellkonzepte mit oberflächensensitiven Passivierschichten, ändern sich gleichzeitig die Anforderungen an die Reinheit und Beschaffenheit der Ober- und Grenzfläche zwischen dem Si-Basissubstrat und der Passivierschicht. In dieser Arbeit wurden für die Herstellung hocheffizienter Solarzellen ozonbasierte Reinigungs- und Konditionierungsmethoden entwickelt. Diese sind geeignet im industriellen Maßstab Silizium-Wafer von Kontaminationen zu reinigen und die Eigenschaften der Ober- und Grenzfläche, anwendungsspezifisch auf die verwendete Passivierschicht angepasst, vorzubereiten. Der Fokus lag auf der Herstellung und Charakterisierung von ultra-dünnen SiOx-Schichten für das TOPCon Zellkonzept.
