Beim CMP-Prozess in der Halbleiterfertigung ist das Erreichen globaler Planarität von herausragender Bedeutung. Die Planarisierungsleistung wird auch von den zu planarisierenden Strukturen selbst beeinflusst. Ihre Topographie innerhalb eines Chips führt zu langreichweitigen Wechselwirkungen. Die globale Planarität hängt somit vom Chiplayout ab. Zum besseren Verständnis dieser Abhängigkeiten gibt es CMP-Modelle auf der Chipskala, die bei der Prozessentwicklung und beim fertigungsgerechten Entwurf unterstützen. Der modellseitige Parameter der die Planarisierungsleistung kennzeichnet ist die Wechselwirkungslänge. Die neu entwickelten Modelle dieser Arbeit, das Global-Höhen- und das Rauheit-Höhen-Modell, zeigen ihre Verbesserungen in der besseren Beschreibung der langreichweitigen Wechselwirkungen. Sie berücksichtigen die nach der Abscheidung vorhandene und auch die sich durch den Prozessverlauf ändernde Topographie besser. Um Zusammenhänge zwischen globaler Planarität und Prozessbedingungen zu zeigen, wurden die Auswirkungen verschiedener CMP-Pads auf die Planarisierungsleistung untersucht. Als Ausblick wurde die Nutzbarmachung der Modelle für zum Druck nichtlineare Prozesse gezeigt.
Aktualisiert: 2023-06-01
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Um die Bewegung eines Fahrzeugs zu simulieren, muss die Interaktion des Reifens mit der Straße abgebildet werden. Zurzeit werden dazu Ersatzmodelle verwendet, die effizient sind, deren Parameter aber nur schwierig bestimmt werden können, aufgrund der starken Abstraktion des realen Objektes. In dieser Dissertation wird ein Schalenmodell entwickelt, dessen Parameter die Geometrie und die Materialdaten des realen Reifens sind und dennoch effizient rechnet.
Aktualisiert: 2023-06-01
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In dieser Arbeit wird ein flexibel einsetzbares Optimierungswerkzeug zur nichtlinearen mathematischen Mehrzieloptimierung entwickelt und auf ausgewählte Problemstellungen des Netzbetriebs und der Netzplanung angewendet. In drei Beispielsimulationen wird sowohl für die Netzführung als auch für die Netzplanung gezeigt, dass durch den Einsatz des Optimierungswerkzeuges große Potentiale in beiden Disziplinen gehoben werden können.
Aktualisiert: 2023-06-01
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Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wird die Modellierung und Integration von Betriebsmitteln zur Leistungsflusssteuerung, von HGÜ- und kombinierten AC/DC-Systemen sowie eines innovativen Betriebsführungskonzepts zur optimierten Nutzung des bestehenden Netzes adressiert. Die Modellierung erfolgt in einer nichtlinearen mathematischen Optimierungssprache mit einem einheitlichen Modellierungsansatz für die Vielzahl der verschiedenen Betriebsmittel.
Aktualisiert: 2023-06-01
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Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wird die Modellierung und Integration von Betriebsmitteln zur Leistungsflusssteuerung, von HGÜ- und kombinierten AC/DC-Systemen sowie eines innovativen Betriebsführungskonzepts zur optimierten Nutzung des bestehenden Netzes adressiert. Die Modellierung erfolgt in einer nichtlinearen mathematischen Optimierungssprache mit einem einheitlichen Modellierungsansatz für die Vielzahl der verschiedenen Betriebsmittel.
Aktualisiert: 2023-06-01
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Aktualisiert: 2023-05-29
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Aktualisiert: 2023-05-29
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Aktualisiert: 2023-05-29
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Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wird die Modellierung und Integration von Betriebsmitteln zur Leistungsflusssteuerung, von HGÜ- und kombinierten AC/DC-Systemen sowie eines innovativen Betriebsführungskonzepts zur optimierten Nutzung des bestehenden Netzes adressiert. Die Modellierung erfolgt in einer nichtlinearen mathematischen Optimierungssprache mit einem einheitlichen Modellierungsansatz für die Vielzahl der verschiedenen Betriebsmittel.
Aktualisiert: 2023-03-31
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In dieser Arbeit wird ein flexibel einsetzbares Optimierungswerkzeug zur nichtlinearen mathematischen Mehrzieloptimierung entwickelt und auf ausgewählte Problemstellungen des Netzbetriebs und der Netzplanung angewendet. In drei Beispielsimulationen wird sowohl für die Netzführung als auch für die Netzplanung gezeigt, dass durch den Einsatz des Optimierungswerkzeuges große Potentiale in beiden Disziplinen gehoben werden können.
Aktualisiert: 2023-03-31
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In dieser Arbeit wird eine Modellfamilie aus Reaktions-Diffusions-Gleichungen sowie aus einem Zellulären Automaten mit Coupled Map Lattice zur Beschreibung von Leberentzündungen vorgestellt. Bei Leberentzündungen wie Hepatitis B und C treten mit ausheilenden und chronischen Krankheitsverläufen zwei qualitativ unterschiedliche Verläufe auf. Die Modellfamilie zur Beschreibung von Hepatitis B und C zeichnet sich daher ebenfalls durch qualitativ unterschiedliche Lösungsverhalten in Abhängigkeit von den Parametern aus. Eine Erweiterung bestehender Sätze über ausgleichendes Lösungsverhalten von Reaktions-Diffusions-Gleichungen ermöglicht die Vorhersage ausheilender Krankheitsverläufe. Durch eine Ortsabhängigkeit der Reaktionsfunktion streben die Lösungen der Reaktions-Diffusions-Gleichungen zu räumlich inhomogenen stationären Lösungen. Solche Lösungen werden als chronische Leberentzündungen interpretiert. Unterschiedliche Modellerweiterungen erlauben die Untersuchung des Einflusses chemotaktischer Effekte sowie der Frage nach einer evolutionären Vorteilhaftigkeit von chronischen Leberentzündungen.
Aktualisiert: 2021-09-02
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Aktualisiert: 2023-03-30
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Aktualisiert: 2023-03-30
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Aktualisiert: 2023-03-27
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Das Ziel der vorliegenden Arbeit ist die mathematische Modellierung von Vollmantelzentrifugen zur dynamischen Simulation des Separationsvorgangs in Echtzeit. Der entwickelte Bilanzraum-Ansatz koppelt das Verweilzeitverhalten mit den Materialeigenschaften und erlaubt so eine zeit- und ortsaufgelöste Simulation für Vollmantelzentrifugen. Die tiefgreifenden Einblicke in den Trennprozess eröffnen neben einer besseren Auslegung auch neue Anwendungsfelder wie die dynamische Fließschema-Simulation. The aim of the present work is the mathematical modeling of solid bowl centrifuges for the dynamic simulation of separation processes in real time. The developed compartment model couples the residence time behavior with the material properties and thus allows a time and space-resolved simulation for solid bowl centrifuges. The profound insights into the separation process open up not only a better design, but also new fields of application such as the dynamic flowchart simulation.
Aktualisiert: 2021-02-11
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Beim CMP-Prozess in der Halbleiterfertigung ist das Erreichen globaler Planarität von herausragender Bedeutung. Die Planarisierungsleistung wird auch von den zu planarisierenden Strukturen selbst beeinflusst. Ihre Topographie innerhalb eines Chips führt zu langreichweitigen Wechselwirkungen. Die globale Planarität hängt somit vom Chiplayout ab. Zum besseren Verständnis dieser Abhängigkeiten gibt es CMP-Modelle auf der Chipskala, die bei der Prozessentwicklung und beim fertigungsgerechten Entwurf unterstützen. Der modellseitige Parameter der die Planarisierungsleistung kennzeichnet ist die Wechselwirkungslänge. Die neu entwickelten Modelle dieser Arbeit, das Global-Höhen- und das Rauheit-Höhen-Modell, zeigen ihre Verbesserungen in der besseren Beschreibung der langreichweitigen Wechselwirkungen. Sie berücksichtigen die nach der Abscheidung vorhandene und auch die sich durch den Prozessverlauf ändernde Topographie besser. Um Zusammenhänge zwischen globaler Planarität und Prozessbedingungen zu zeigen, wurden die Auswirkungen verschiedener CMP-Pads auf die Planarisierungsleistung untersucht. Als Ausblick wurde die Nutzbarmachung der Modelle für zum Druck nichtlineare Prozesse gezeigt.
Aktualisiert: 2023-03-31
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Um die Bewegung eines Fahrzeugs zu simulieren, muss die Interaktion des Reifens mit der Straße abgebildet werden. Zurzeit werden dazu Ersatzmodelle verwendet, die effizient sind, deren Parameter aber nur schwierig bestimmt werden können, aufgrund der starken Abstraktion des realen Objektes. In dieser Dissertation wird ein Schalenmodell entwickelt, dessen Parameter die Geometrie und die Materialdaten des realen Reifens sind und dennoch effizient rechnet.
Aktualisiert: 2023-03-31
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