Herstellung und Anwendung planarer Bragg-Gitter-Sensoren
Maiko Girschikofsky
Im Rahmen der Arbeit werden die Herstellung und Anwendung planarer Bragg-Gitter-Sensoren behandelt. Die planar-optischen Sensoren werden in anorganisch-organischen Ormocer-Hybridpolymeren mittels gängiger Methoden der Mikrosystemtechnik hergestellt und umfänglich hinsichtlich ihrer Struktur und des Einflusses der individuellen Herstellungsparameter charakterisiert. Durch Verfahren moderner Nanoprägelithografie und Fotolithografie werden Rippenwellenleiter und eingebettete Streifenwellenleiter in planaren sowie elastischen Dünnfilm-Substraten hergestellt. In diese bereits UV-polymerisierten Strukturen werden uniforme volumenstrukturierte Bragg-Gitter mittels Phasenmaskentechnologie und Excimerlaser-Bestrahlung integriert. Die erzeugten Wellenleiter-Bragg-Gitter werden in sensorischen Anwendungen zum Nachweis der Temperatur und Verformung sowie der Brechungsindexanalytik eingesetzt. Darüber hinaus werden Siliziumdioxid-basierte, planare Bragg-Gitter durch Funktionalisierung mit Cyclodextrin-Affinitätsmaterialien in der opto-chemischen Sensorik des höchst ozonschädigenden Treibhausgases Trichlorfluormethan eingesetzt.
