Multipulseffekte beim Mikro-Materialabtrag von Stahllegierungen mit Pikosekunden- Laserpulsen

Multipulseffekte beim Mikro-Materialabtrag von Stahllegierungen mit Pikosekunden- Laserpulsen von Häfner,  Tom
In der vorliegenden Arbeit wird eine Methode zur modellbasierten Steigerung der Abtragseffizienz vorgestellt, die auf der Kenntnis von Multipulseffekten bei der Laserstrukturierung basiert und die Strahlformung von Flat-Top-Profilen nutzt. Die Ursachen und Auswirkungen von Multipulseffekten der Inkubation, d. h. der Pulszahlabhängigkeit des Abtragsverhaltens, wurden für den Mikro-Materialabtrag von Stählen untersucht. Die gemessene Abnahme der pulszahlabhängigen Reflektivität der strukturierten Substratoberfläche wurde als eine Ursache der mit steigender Pulszahl sinkenden Abtragsschwellfluenz identifiziert. Als zweite Ursache beeinflusst die mit steigender Pulszahl sinkende Energieeindringtiefe die Inkubation. Mit dem Ziel der flexiblen Erzeugung der räumlichen Intensitätsverteilung wurde die digitale holografische Strahlformung mittels eines Flüssigkristall-basierten räumlichen Lichtmodulators untersucht. Die erzeugten Flat-Top-Strahlprofile können unter Berücksichtigung der systembedingten Aberrationen und der Vergrößerung des Frequenzbereichs simuliert werden. Basierend auf der Simulation des Strahlprofils und der Kenntnis der Auswirkung der Multipulseffekte auf den Materialabtrag wurde die Strukturgeometrie als Abtragsergebnis modelliert. Dafür wurden erstmalig die pulszahlabhängige Schwellfluenz und Eindringtiefe einschließlich ihres Sättigungsverhaltens als experimentell ermittelte Materialparameter berücksichtigt.
Aktualisiert: 2023-06-15
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Multipulseffekte beim Mikro-Materialabtrag von Stahllegierungen mit Pikosekunden- Laserpulsen

Multipulseffekte beim Mikro-Materialabtrag von Stahllegierungen mit Pikosekunden- Laserpulsen von Häfner,  Tom
In der vorliegenden Arbeit wird eine Methode zur modellbasierten Steigerung der Abtragseffizienz vorgestellt, die auf der Kenntnis von Multipulseffekten bei der Laserstrukturierung basiert und die Strahlformung von Flat-Top-Profilen nutzt. Die Ursachen und Auswirkungen von Multipulseffekten der Inkubation, d. h. der Pulszahlabhängigkeit des Abtragsverhaltens, wurden für den Mikro-Materialabtrag von Stählen untersucht. Die gemessene Abnahme der pulszahlabhängigen Reflektivität der strukturierten Substratoberfläche wurde als eine Ursache der mit steigender Pulszahl sinkenden Abtragsschwellfluenz identifiziert. Als zweite Ursache beeinflusst die mit steigender Pulszahl sinkende Energieeindringtiefe die Inkubation. Mit dem Ziel der flexiblen Erzeugung der räumlichen Intensitätsverteilung wurde die digitale holografische Strahlformung mittels eines Flüssigkristall-basierten räumlichen Lichtmodulators untersucht. Die erzeugten Flat-Top-Strahlprofile können unter Berücksichtigung der systembedingten Aberrationen und der Vergrößerung des Frequenzbereichs simuliert werden. Basierend auf der Simulation des Strahlprofils und der Kenntnis der Auswirkung der Multipulseffekte auf den Materialabtrag wurde die Strukturgeometrie als Abtragsergebnis modelliert. Dafür wurden erstmalig die pulszahlabhängige Schwellfluenz und Eindringtiefe einschließlich ihres Sättigungsverhaltens als experimentell ermittelte Materialparameter berücksichtigt.
Aktualisiert: 2022-02-10
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Die akustooptische Strahlformung in der Lasermaterialbearbeitung

Die akustooptische Strahlformung in der Lasermaterialbearbeitung von Strauss,  Johannes
Im Rahmen der vorliegenden Promotionsarbeit wurden Systeme für die Strahlführung und -formung von Laserstrahlen hinsichtlich ihrer Dynamik anhand der Datenübertragungsrate bewertet und verglichen. Die Datenübertragungsrate ist die Anzahl an Strukturpunkten pro Zeiteinheit, die mit einem System erzeugt werden kann. Es zeigt sich dabei, dass eine Strahlformung mit akustooptischem Effekt die höchsten Datenübertragungsraten ermöglicht und somit ein enormes Potential birgt. Dieser Idee wurde in vorliegender Arbeit nachgegangen und so eine neue Technologie für die Laserstrahlformung bei der Materialbearbeitung erforscht. Die Innovation besteht hier in der Berechnung der Signale, die für die akustooptische Laserstrahlformung (AOS) notwendig sind. Im Rahmen dieser Arbeit ist hierfür ein Iterativer-Fourier-Transformations-Algorithmus entwickelt worden, mit dem eine effiziente Strahlformung erreicht wird. Diese Arbeit befasst sich mit der AOS-Technologie zuerst im Allgemeinen: So werden die Umschaltrate, die Leistungsgrenzen für den Einsatz dieser Technologie und die Einschränkungen für die erreichbaren Intensitätsverteilun-gen in der Bearbeitungsebene aufgezeigt. Gerätschaften, die für diese Technologie kommerziell erhältlich sind, können dabei mit meh-reren tausend Watt Laserleistung betrieben werden. Damit ist die AOS nahezu unbegrenzt mit Strahlquellen im kontinuierlichen Betrieb und auch im Pulsbetrieb einsetzbar.
Aktualisiert: 2022-03-17
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Pump-Probe-Ellipsometrie zur Messung transienter optischer Materialeigenschaften bei der Ultrakurzpuls-Lasermaterialbearbeitung

Pump-Probe-Ellipsometrie zur Messung transienter optischer Materialeigenschaften bei der Ultrakurzpuls-Lasermaterialbearbeitung von Rapp,  Stephan
Ultrakurzpulslaser haben sich als weitverbreitetes Werkzeug in der Lasermaterialbearbeitung etabliert, da sie aufgrund ihrer hocheffizienten Energiedeposition und der dabei auftretenden niedrigen thermischen Materialschädigung präzisen Materialabtrag ermöglichen. Aktuelle Untersuchungen der Metallbearbeitung mit Laserdoppelpulsen haben gezeigt, dass die Ablationseffizienz abhängig vom zeitlichen Versatz der Pulse ist. Um diesen Effekt erklären zu können, muss die Wechselwirkung zwischen ultrakurzen Laserpulsen und dem Metall verstanden werden. In dieser Arbeit wird dazu ein einzigartiges Pump-Probe-Ellipsometer entwickelt, welches die Messung des transienten komplexen Brechungsindexes N = n – ik des bestrahlten Metalls auf ultrakurzer Zeitskala ermöglicht. Anhand dieser Größe können die frühen Materialeigenschaften und die Materialbewegung analysiert werden. Durch die gewonnenen experimentellen Daten und durch ein darauf aufbauendes hydrodynamisches Simulationsmodell wird die Ablationsdynamik von Aluminium (Al) detailliert untersucht. Innerhalb der ersten Pikosekunden nach dem Auftreffen des Femtosekunden-Bearbeitungspulses wird ein schneller Anstieg des Brechungsindexes n und eine parallele Abnahme des Extinktionskoeffizienten k gemessen. Dieses Verhalten wird durch das ultraschnelle Aufheizen und Schmelzen des Al verursacht. Die Gittertemperatur erreicht die Schmelztemperatur bereits während des Auftreffens des Bearbeitungspulses. Zusätzlich nimmt die Materialdichte im bestrahlten Volumen ab und das Material wölbt sich mit einer Geschwindigkeit von etwa 1500 m/s auf. Die Ursache hierfür ist der hohe Druckaufbau im Material, welcher durch den Femtosekundenpuls erzeugt wird. Diese Einzelpulsergebnisse werden mit Hinblick auf ihre Auswirkung für die Doppelpulsablation von Metallen diskutiert. Es wird herausgefunden, dass die Änderung der optischen Parameter die Effizienzabnahme bei der Doppelpulsablation nicht alleine verursacht. Ein Modell, welches zusätzlich die Materialaufwölbung, eine verminderte elektronische Eindringtiefe und einen reduzierten Druckeinschluss berücksichtigt, wird aufgestellt, um die Effizienzabnahme zu erklären.
Aktualisiert: 2020-09-10
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