In dieser Arbeit werden verschiedene Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse untersucht. Es werden Ätz- und Abscheideprozesse erforscht, die in der Halbleitertechnologie nötig sind. Dabei wird darauf geachtet, dass die Prozesstemperatur sehr gering ist. Durch die in der Arbeit untersuchten plasmaunterstützten Prozesse, kann eine epitaktische Siliziumschicht bereits bei 450 °C abgeschieden werden.
Aktualisiert: 2023-06-01
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Pufferschichten haben bei elektronischen Bauelementen eine spannungsreduzierende und eine isolierende Eigenschaft. In der vorliegenden Dissertation wurden Übergitter, bestehend aus kurzperiodischen AlN und GaN Schichten, als Pufferschichten realisiert. Hergestellt, charakterisiert und simuliert wurden zwei unterschiedliche Variationen in der Periode des Übergitters. Die Simulation erfolgte anhand von Kapazitäts-Spannungs-Messungen.
Aktualisiert: 2023-06-01
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Diese Arbeit zeigt ein neuartiges Antennenkonzept für Radarsysteme auf Basis von frequenzfilternden Linsen, welches zusammen mit Kalibrierverfahren zur Korrektur der Sensoreigenschaften systembedingte Einflüsse auf die Radarmessungen effektiv verhindert bzw. reduziert. Der darauf aufbauend entwickelte Radarsensor demonstriert in diesem Zusammenhang hoch-präzise, zuverlässige Messungen für den zukünftigen Einsatz in industriellen Messumgebungen.
Aktualisiert: 2023-06-01
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Die LTCC (low temperature co-fired ceramics) ist eine etablierte Technologie in der Elektronik für die Herstellung von keramischen Schaltungen zur Anwendungen u. a. im Automobil- sowie Tele- und Kommunikationsbereich. In der Arbeit wird die Schwindungsgenauigkeit von LTCC Mehrlagensubstraten im freien Sintern bewertet und optimiert, indem ein anwendungsnaher Technologieeinsatz mit materialwissenschaftlichen Untersuchungen verknüpft wird.
Aktualisiert: 2023-06-01
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In der vorliegenden Promotionsarbeit wird eine Methode zur Kontrolle des Ätzflankenprofils von Through Silicon Vias (Abk. TSV) beim Plasmaätzen von Silizium entwickelt. Hierzu wird die Ätzrate im SF6/O2 - Plasma mathematisch beschrieben und die Verteilung, der an der Ätzung beteiligten Spezies im TSV simuliert. Die lokale Verteilung der Ätzrate im TSV erlaubt Vorhersagen über die Formentstehung und damit eine gezielte Kontrolle der TSV-Form.
Aktualisiert: 2023-06-01
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AlGaN-Photodetektoren bieten erhebliche Vorteile gegenüber herkömmlichen Si-basierten Photodetektoren hinsichtlich der Zuverlässigkeit und der elektrooptischen Leistungseigenschaften. Schwerpunkt dieser Dissertation ist daher die metallorganische Gasphasenepitaxie und die Charakterisierung der AlGaN-Schichten zur Prozessierung von p-i-n-Photodioden für die Messung von UV-Strahlung.
Aktualisiert: 2023-06-01
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Der Frequenzbereich bis 60 GHz ist aufgrund seiner geringen atmosphärischen Dämpfung für Radarsysteme mit hohen Reichweiten prädestiniert. Hohe Systembandbreiten für eine hohe radiale Auflösung sind hier jedoch nur schwer zu realisieren. Daher befasst sich diese Dissertation mit der Entwicklung von Systemkonzepten und integrierten Schaltungen für breitbandige MIMO-FMCW-Radarsysteme bis 60 GHz für ein hohes radiales Auflösungsvermögen.
Aktualisiert: 2023-06-01
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In dieser Arbeit wurde die photokatalytische Depositionsgeschwindigkeit des Stickstoffmonoxid-Abbaus von mittels thermischer Atomlagenabscheidung abgeschiedenen Titandioxid-Photokatalysatoren evaluiert. Hierfür wurden die geeigneten Prozessfenster zur Abscheidung von kristallinem Titandioxid identifiziert und eine Bewertung der photokatalytischen Wirksamkeit unter Betrachtung der jeweiligen kinetischen Modellierung durchgeführt.
Aktualisiert: 2023-06-01
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In dieser Arbeit wurde die photokatalytische Depositionsgeschwindigkeit des Stickstoffmonoxid-Abbaus von mittels thermischer Atomlagenabscheidung abgeschiedenen Titandioxid-Photokatalysatoren evaluiert. Hierfür wurden die geeigneten Prozessfenster zur Abscheidung von kristallinem Titandioxid identifiziert und eine Bewertung der photokatalytischen Wirksamkeit unter Betrachtung der jeweiligen kinetischen Modellierung durchgeführt.
Aktualisiert: 2023-03-31
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Diese Arbeit zeigt ein neuartiges Antennenkonzept für Radarsysteme auf Basis von frequenzfilternden Linsen, welches zusammen mit Kalibrierverfahren zur Korrektur der Sensoreigenschaften systembedingte Einflüsse auf die Radarmessungen effektiv verhindert bzw. reduziert. Der darauf aufbauend entwickelte Radarsensor demonstriert in diesem Zusammenhang hoch-präzise, zuverlässige Messungen für den zukünftigen Einsatz in industriellen Messumgebungen.
Aktualisiert: 2023-03-31
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Die LTCC (low temperature co-fired ceramics) ist eine etablierte Technologie in der Elektronik für die Herstellung von keramischen Schaltungen zur Anwendungen u. a. im Automobil- sowie Tele- und Kommunikationsbereich. In der Arbeit wird die Schwindungsgenauigkeit von LTCC Mehrlagensubstraten im freien Sintern bewertet und optimiert, indem ein anwendungsnaher Technologieeinsatz mit materialwissenschaftlichen Untersuchungen verknüpft wird.
Aktualisiert: 2023-03-31
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Pufferschichten haben bei elektronischen Bauelementen eine spannungsreduzierende und eine isolierende Eigenschaft. In der vorliegenden Dissertation wurden Übergitter, bestehend aus kurzperiodischen AlN und GaN Schichten, als Pufferschichten realisiert. Hergestellt, charakterisiert und simuliert wurden zwei unterschiedliche Variationen in der Periode des Übergitters. Die Simulation erfolgte anhand von Kapazitäts-Spannungs-Messungen.
Aktualisiert: 2023-03-31
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Der Frequenzbereich bis 60 GHz ist aufgrund seiner geringen atmosphärischen Dämpfung für Radarsysteme mit hohen Reichweiten prädestiniert. Hohe Systembandbreiten für eine hohe radiale Auflösung sind hier jedoch nur schwer zu realisieren. Daher befasst sich diese Dissertation mit der Entwicklung von Systemkonzepten und integrierten Schaltungen für breitbandige MIMO-FMCW-Radarsysteme bis 60 GHz für ein hohes radiales Auflösungsvermögen.
Aktualisiert: 2023-03-31
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In dieser Arbeit werden verschiedene Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse untersucht. Es werden Ätz- und Abscheideprozesse erforscht, die in der Halbleitertechnologie nötig sind. Dabei wird darauf geachtet, dass die Prozesstemperatur sehr gering ist. Durch die in der Arbeit untersuchten plasmaunterstützten Prozesse, kann eine epitaktische Siliziumschicht bereits bei 450 °C abgeschieden werden.
Aktualisiert: 2023-03-31
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AlGaN-Photodetektoren bieten erhebliche Vorteile gegenüber herkömmlichen Si-basierten Photodetektoren hinsichtlich der Zuverlässigkeit und der elektrooptischen Leistungseigenschaften. Schwerpunkt dieser Dissertation ist daher die metallorganische Gasphasenepitaxie und die Charakterisierung der AlGaN-Schichten zur Prozessierung von p-i-n-Photodioden für die Messung von UV-Strahlung.
Aktualisiert: 2023-03-31
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In der vorliegenden Promotionsarbeit wird eine Methode zur Kontrolle des Ätzflankenprofils von Through Silicon Vias (Abk. TSV) beim Plasmaätzen von Silizium entwickelt. Hierzu wird die Ätzrate im SF6/O2 - Plasma mathematisch beschrieben und die Verteilung, der an der Ätzung beteiligten Spezies im TSV simuliert. Die lokale Verteilung der Ätzrate im TSV erlaubt Vorhersagen über die Formentstehung und damit eine gezielte Kontrolle der TSV-Form.
Aktualisiert: 2023-03-31
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