Die rasanten Entwicklungen der letzten Jahre insbesondere in der Halbleitertechnik und in verschiedenen Präzisionstechnologien erfordern immer präzisere Fertigungsprozesse, die bis an die physikalischen Grenzen vordringen. Deshalb wurde am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik der Technischen Universität Ilmenau die Nanopositionier- und Nanomessmaschinen (NPM-Maschine) entwickelt. Eine wesentliche Hauptkomponente einer solchen NPM-Maschine ist eine Spiegelecke, deren messtechnische Parameter insbesondere Ebenheit und Orthogonalität die Voraussetzungen für ein erfolgreiches metrologisches Korrekturkonzept der NPM-Maschine sind. Die Fertigungstoleranzen limitieren die Ebenheit der Spiegelflächen der Spiegelecke und deren Winkellage zueinander. Die vorliegende Arbeit konzentriert sich daher auf die Entwicklung neuer Methoden zur hochpräzisen Bestimmung der Formabweichungen aller drei Messflächen einer Spiegelecke und der Orthogonalitätsabweichungen zwischen den Messspiegeln im montierten Zustand. Mit Hilfe der ermittelten systematischen Abweichungen der Spiegelflächen können in der Folge alle Messergebnisse entsprechend korrigiert werden. Aufgrund der Mess- und Korrekturverfahren sinken die Anforderungen an die Fertigungstoleranzen, wodurch künftig auch der Einsatz kostengünstigerer Spiegelecken in NPM-Maschinen ermöglicht wird.
Aktualisiert: 2021-02-09
> findR *
Der Fokus dieser Arbeit liegt auf der Entwicklung einer quasi-monolithischen Nanopositioniervorrichtung für die Anwendung in Hochgeschwindigkeits-Rastersondenmikroskopie-Systemen. Das Konzept der in dieser Arbeit entwickelten neuen Nanopositioniervorrichtung stellt die quasi-monolithische Integration der kinematischen Konstruktion aus monokristallinem Silizium, der piezoelektrischen Aktoren und der piezoresistiven Sensoren dar. Eine monolithische Integration der Piezowiderstände in die Verformungselemente der kinematischen Konstruktion aus Silizium ermöglicht eine Kompensation von möglichen Nichtlinearitäten. Die entwickelte Positioniervorrichtung wurde als Prototyp implementiert und die Funktionsfähigkeit experimentell bestätigt. In einem Rasterkraftmikroskopiesystem wurden Kalibrierung und Probemessungen erfolgreich durchgeführt.
Aktualisiert: 2017-07-03
> findR *
In der Dissertation wird die Entwicklung einer neuen Nanopositionier- und Nanomessmaschine NPMM-200 beschrieben. Das Gesamtsystem wird im Überblick dargestellt. Im Detail werden die Konstruktion und Realisierung des Positioniersystems behandelt. Ein Schwerpunkt der experimentellen Verifikation ist die Analyse der Leistungsfähigkeit und der Grenzen der Positioniereigenschaften dieses Messgeräts. Darüber hinaus werden erste Ergebnisse des metrologischen Nachweises anhand einer ausgewählten Messaufgabe und mehrere Anwendungsbeispiele vorgestellt. Die NPMM-200 hebt sich mit einem Messvolumen von 200 x 200 x 25 mm³ bei gleichzeitiger Messauflösung in subatomarer Größenordnung sowie einer angestrebten 3-D-Messunsicherheit von weniger als 30 nm vom derzeitigen Stand der Technik ab. Gegenwärtig existiert kein Antastsystem, das universell für die Bewältigung der Vielzahl von Messaufgaben an Mikro- und Nanostrukturen geeignet ist. Deshalb wurde die NPMM-200 für Multisensorik konzipiert.
Aktualisiert: 2021-12-13
> findR *
MEHR ANZEIGEN
Bücher zum Thema Nanometerbereich
Sie suchen ein Buch über Nanometerbereich? Bei Buch findr finden Sie eine große Auswahl Bücher zum
Thema Nanometerbereich. Entdecken Sie neue Bücher oder Klassiker für Sie selbst oder zum Verschenken. Buch findr
hat zahlreiche Bücher zum Thema Nanometerbereich im Sortiment. Nehmen Sie sich Zeit zum Stöbern und finden Sie das
passende Buch für Ihr Lesevergnügen. Stöbern Sie durch unser Angebot und finden Sie aus unserer großen Auswahl das
Buch, das Ihnen zusagt. Bei Buch findr finden Sie Romane, Ratgeber, wissenschaftliche und populärwissenschaftliche
Bücher uvm. Bestellen Sie Ihr Buch zum Thema Nanometerbereich einfach online und lassen Sie es sich bequem nach
Hause schicken. Wir wünschen Ihnen schöne und entspannte Lesemomente mit Ihrem Buch.
Nanometerbereich - Große Auswahl Bücher bei Buch findr
Bei uns finden Sie Bücher beliebter Autoren, Neuerscheinungen, Bestseller genauso wie alte Schätze. Bücher zum
Thema Nanometerbereich, die Ihre Fantasie anregen und Bücher, die Sie weiterbilden und Ihnen wissenschaftliche
Fakten vermitteln. Ganz nach Ihrem Geschmack ist das passende Buch für Sie dabei. Finden Sie eine große Auswahl
Bücher verschiedenster Genres, Verlage, Autoren bei Buchfindr:
Sie haben viele Möglichkeiten bei Buch findr die passenden Bücher für Ihr Lesevergnügen zu entdecken. Nutzen Sie
unsere Suchfunktionen, um zu stöbern und für Sie interessante Bücher in den unterschiedlichen Genres und Kategorien
zu finden. Unter Nanometerbereich und weitere Themen und Kategorien finden Sie schnell und einfach eine Auflistung
thematisch passender Bücher. Probieren Sie es aus, legen Sie jetzt los! Ihrem Lesevergnügen steht nichts im Wege.
Nutzen Sie die Vorteile Ihre Bücher online zu kaufen und bekommen Sie die bestellten Bücher schnell und bequem
zugestellt. Nehmen Sie sich die Zeit, online die Bücher Ihrer Wahl anzulesen, Buchempfehlungen und Rezensionen zu
studieren, Informationen zu Autoren zu lesen. Viel Spaß beim Lesen wünscht Ihnen das Team von Buchfindr.
