In dieser Arbeit werden verschiedene Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse untersucht. Es werden Ätz- und Abscheideprozesse erforscht, die in der Halbleitertechnologie nötig sind. Dabei wird darauf geachtet, dass die Prozesstemperatur sehr gering ist. Durch die in der Arbeit untersuchten plasmaunterstützten Prozesse, kann eine epitaktische Siliziumschicht bereits bei 450 °C abgeschieden werden.
Aktualisiert: 2023-06-01
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Chemische Transportreaktionen weisen ein gemeinsames Merkmal auf: In Gegenwart eines gasförmigen Reaktionspartners, des Transportmittels, wird eine feste oder flüssige Komponente verflüchtigt. An anderer Stelle scheidet sie sich meist in Form gut ausgebildeter Kristalle wieder ab. So ist der Chemische Transport z. B. für den Festkörperchemiker ein unentbehrliches Verfahren zur Herstellung reiner, gut kristallisierter Feststoffe.Als umfassendes Handbuch behandelt dieses Werk die vielseitigen Aspekte von Chemischen Transportreaktionen: Von der Grundlagenforschung bis hin zur praktischen Bedeutung, beispielsweise für die Funktionsweise von Halogenlampen.
Aktualisiert: 2023-05-29
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Dieses Buch ist Teil unserer neuen Datenbank Anorganik Online. Chemische Transportreaktionen weisen ein Merkmal auf: In Gegenwart eines gasförmigen Reaktionspartners, des Transportmittels, wird eine feste oder flüssige Komponente verflüchtigt. An anderer Stelle scheidet sie sich in Form gut ausgebildeter Kristalle wieder ab. Dieses umfassendes Handbuch behandelt die vielseitigen Aspekte von Chemischen Transportreaktionen: Von der Grundlagenforschung bis hin zur praktischen Bedeutung.
Aktualisiert: 2023-05-29
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Chemische Transportreaktionen weisen ein gemeinsames Merkmal auf: In Gegenwart eines gasförmigen Reaktionspartners, des Transportmittels, wird eine feste oder flüssige Komponente verflüchtigt. An anderer Stelle scheidet sie sich meist in Form gut ausgebildeter Kristalle wieder ab. So ist der Chemische Transport z. B. für den Festkörperchemiker ein unentbehrliches Verfahren zur Herstellung reiner, gut kristallisierter Feststoffe.Als umfassendes Handbuch behandelt dieses Werk die vielseitigen Aspekte von Chemischen Transportreaktionen: Von der Grundlagenforschung bis hin zur praktischen Bedeutung, beispielsweise für die Funktionsweise von Halogenlampen.
Aktualisiert: 2023-05-29
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Aktualisiert: 2023-05-29
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Aktualisiert: 2023-05-29
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Das Lehrbuch zur modernen anorganischen Chemie richtet sich an Studenten im Hauptstudium und vereint in einzigartiger Weise vertieftes Wissen der Teilgebiete der anorganischen Chemie: Nichtmetallchemie, Komplex- und Koordinationschemie, Festkörperchemie, Organometallchemie und, neu in der 3. Auflage, Bioanorganik. Das Werk wurde gründlich überarbeitet und enthält aktuelle Forschungsergebnisse ebenso wie neue, verbesserte Abbildungen und erweiterte Literaturangaben. Übungsaufgaben mit Lösungen auf CD-ROM erleichtern das Selbststudium und die Prüfungsvorbereitung.
Aktualisiert: 2023-05-29
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Dieses Standardwerk der Modernen Anorganischen Chemie vermittelt fundiertes Wissen der wesentlichen Teilgebiete der anorganischen Chemie. Die Überarbeitung zur vorliegenden 5. Auflage basiert auf aktuellen Forschungergebnissen sowie Vorlesungsinhalten der Autoren. Besonders das Kapitel zur Bioanorganik wurde umfassend verbessert und ergänzt.
Aktualisiert: 2023-05-29
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Die überarbeitete 12. Auflage dieses klassischen Lehrbuchs enthält die theoretischen Grundlagen der allgemeinen und anorganischen Chemie, eine Einführung in die anorganische Stoffchemie sowie eine Übersicht zu aktuellen Umweltproblemen. Dank seiner klaren Struktur und des prägnanten Schreibstils ist dieses Werk ein Favorit der Studierenden. Die zweifarbige Gestaltung unterstützt die Nutzung als Lehrbuch und Repetitorium zur Prüfungsvorbereitung.
Aktualisiert: 2023-05-29
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Dieses Standardwerk der Modernen Anorganischen Chemie vermittelt fundiertes Wissen der wesentlichen Teilgebiete der anorganischen Chemie. Die Überarbeitung zur vorliegenden 5. Auflage basiert auf aktuellen Forschungergebnissen sowie Vorlesungsinhalten der Autoren. Besonders das Kapitel zur Bioanorganik wurde umfassend verbessert und ergänzt.
Aktualisiert: 2023-05-29
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Dieses Standardwerk der Modernen Anorganischen Chemie vermittelt fundiertes Wissen der wesentlichen Teilgebiete der anorganischen Chemie. Die Überarbeitung zur vorliegenden 5. Auflage basiert auf aktuellen Forschungergebnissen sowie Vorlesungsinhalten der Autoren. Besonders das Kapitel zur Bioanorganik wurde umfassend verbessert und ergänzt.
Aktualisiert: 2023-05-29
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Aktualisiert: 2023-05-29
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Aktualisiert: 2023-05-23
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Aktualisiert: 2023-05-16
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Aktualisiert: 2023-05-08
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Aktualisiert: 2023-05-08
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