GMM-Fb. 97: Mikro-Nano-Integration

GMM-Fb. 97: Mikro-Nano-Integration

Beiträge des 8. GMM-Workshops 15. – 17.09.2020, Online-Veranstaltung

Funktionale Nanostrukturen in smarten Mikrosystemen

Nanostrukturen, die in Mikrosysteme integriert werden können, liefern wichtige Beiträge, indem sie
• elektronische Komponenten verkleinern,
• neue Funktionalitäten ermöglichen,
• Eigenschaften wesentlich verbessern,
• Sensoren empfindlicher oder selektiver werden lassen,
• den Energiebedarf senken,
• und bei der Systemintegration und der AVT helfen.

Für die industrielle Nutzung gilt es, wichtige Fragen zu klären:

• Wie werden Nanostrukturen ins Mikrosystem integriert?
• Welche Fertigungsverfahren werden genutzt?
• Wie stabil sind sie unter realen Einsatzbedingungen?
• Wie können Nanostrukturen im Mikrosystem charakterisiert und ihre Qualität sichergestellt werden?
• Wie können die Chancen der Mikro-Nano-Integration Kunden und Mitarbeitern vermittelt werden?

Neben Mikrosensorik und AVT rücken neue Technologien wie die 2D-Elektronik in den Fokus, die die Integration komplexer Systeme auch auf Folien und Gläsern ermöglichen.

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